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5纳米可以不用EUV！ ？日厂领军！奈米压印微影(NIL)大突破！
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2021-11-03发布
1.学微影技术 2.电子束微影技术 3.奈米压印微影(NIL)的原理 4.奈米压印微影(NIL)的进步 5.为什么奈米压印适合制作NAND闸型快闪记忆体？
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