日本otsuka大塚科技 显微分光膜厚量测仪

【顛覆傳統⚡】超高速1秒測量 ⭕媲美橢圓偏光儀的1nm極薄膜量測・3μm微小聚焦・精度速度的完美演繹⭕ ◎非接觸式膜厚測定必要的機能集中在一個量測頭 ◎顯微分光下廣範圍的光學系統(紫外 ~ 近紅外)，最小對應spot約3μm ◎高精度、高再現性量測，絕對反射率光譜，分析多層薄膜厚度、光學常數(n:折射率、k:消光係數) ◎單點對焦加量測於1秒內完成 ◎初學者也能輕鬆解析的初學者解析模式 ◎獨立測定頭對應各種inline客製化需求 媲美橢圓偏光儀的極薄膜量測表現(1nm~)， 遠超橢圓偏光儀的超高速量測速度(1秒/點)， 遠小於橢圓偏光儀的聚焦量測面積(最小3μm）。