美国博主Zachary手搓一台1980年代Intel光刻著名的8088芯片同样精度的微米级制程光刻机。已经可以光刻了,但是对焦不稳定。2024年12月30日哈工大官宣研发成功13.5纳米EUV极紫外光源。咱们看80年代光刻机如何工作熟悉一下咯#光刻机 #EUV