深圳汇义科技取得新型晶圆搬运机械臂专利，提高搬运效率

<p>金融界2024年12月20日消息，国家知识产权局信息显示，深圳汇义科技有限公司取得一项名为“种新型晶圆搬运机械臂”的专利，授权公告号 CN 222168360 U，申请日期为 2024 年 5 月 。</p><p>专利摘要显示，本实用新型涉及晶圆搬运技术领域，具体为一种新型晶圆搬运机械臂，包括安装柱，所述安装柱的内部设置有升降驱动机构，所述升降驱动机构的驱动件设置有主旋转驱动机构，所述主旋转驱动机构的驱动端设置有机械臂座，所述机械臂座的顶部设置有取料左臂和取料右臂，所述取料左臂和取料右臂的驱动端分别设置有左取料治具和右取料治具。该新型晶圆搬运机械臂，通过取料左臂和取料右臂的设置，来采用双取料机械臂来进行晶圆搬运，来提高该装置的搬运效率，并且通过主旋转驱动机构实现 340°范围内任意点位置的取放料动作，配合升降驱动机构来提高该装置的灵活性，可实现根据设备尺寸灵活调节高度，进而满足狭小空间内的自动高速精准取放料。</p>