北方华创取得近腔室等离子体馈入装置等专利

<p>金融界2024年11月27日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“近腔室等离子体馈入装置、半导体工艺腔室和设备”的专利，授权公告号CN 117894660 B，申请日期为2024年1月。</p>