人民网北京9月15日电,据工业和信息化部官网消息,为促进首台(套)重大技术装备创新发展和推广应用,加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同,工业和信息化部近日印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》(以下简称《指导目录》),其中在电子专用装备目录下,“集成电路生产装备”包括氟化氩光刻机,光源193纳米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。 尽管我们不知道华为7nm的芯片使用的是哪一种光刻机。但我们再看看上表中中国首台氟化氩光刻机的硬指标,其套刻≤8nm,我们就知道这个突破的意义,相信,之前已近突破7纳米芯片技术的华为,结合这一次国产售台光刻机的突破,下一步华为手机中使用5纳米芯片,很快可以实现。 我们为何可以取得如此重大的突破,很重要的原因是发挥制度的优越性,国家进行的发展扶持。按照市场监管总局等5部门于今年4月联合印发的《中国首台(套)重大技术装备检测评定管理办法(试行)》,重大技术装备是国之重器!