洁净室是污染控制的基础,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。