中国光学工程学会主办世界光子大会，中国光电仪器“金燧奖”剧透

中国光学工程学会主办世界光子大会，首届中国光电仪器“金燧奖”剧透 . 中国科学院长春光机所 ，EUV 极紫外光刻机研制，2022年大奖。 华为技术 5/7 纳米麒麟芯片生产线， 2023年大奖！ . 国产光刻机双工件工作台成功实现2米/秒高速 0.1纳米超精密动态校准，全球领先的高速超精密， 技术水平已经赶上 ASM L！ .