海合精密-氮化硅陶瓷抗氧化温度可高达1400℃,在1400℃以下的干燥氧化气氛中保持稳定,其使用温度一般可高达1300℃,而在中性或还原气氛中甚至可成功的应用到1800℃在200℃的潮湿空气或800℃干燥空气中,氮化硅与氧反应形成Si02的表面保护膜,阻碍Si3N4的继续氧化。