SEM扫描电镜制样方式及方法

扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种用于获取固体样品表面高分辨率图像的显微镜。它使用聚焦的电子束来扫描样品表面，并通过检测样品与电子束相互作用时产生的二次电子、背散射电子或其他信号来形成图像。 扫描电镜的主要特点包括： 1. 高分辨率：扫描电镜能够提供非常高的空间分辨率，通常在1纳米到几个纳米之间，这比光学显微镜的分辨率要高得多。 2. 大景深：扫描电镜的图像具有较大的景深，这意味着图像的焦点范围内，前后不同的结构都能保持清晰。 3. 三维表面成像：由于扫描电镜使用电子束扫描样品表面，因此它可以提供样品表面的三维形貌信息。 4. 元素分析：许多扫描电镜配备了能谱仪（EDS）或波谱仪（WDS），可以用于分析样品表面的元素组成。 扫描电镜在材料科学、生物学、医学、地质学、纳米技术等多个领域都有广泛应用，用于研究样品的微观结构和表面特性。