史上最贵开箱视频：全球首台高NA光刻机已装机

ASML此前宣布，其下一代HighNA EUV芯片制造工具的价格将是其当前低NA EUV光刻工具的两倍以上，即约3.8亿美元（3.5亿欧元）。然而，确切的价格将取决于该设备的实际配置——英特尔首席执行官帕特·基辛格(Pat Gelsinger)最近表示，该机器的成本为“4亿左右”。 相比之下，现有的低数值孔径 Twinscan NXE EUV 系统的售价约为 1.83 亿美元（1.7 亿欧元），并根据具体型号和配置而有所不同。英特尔可能是第一个获得这种尖端制造工具的公司，但 ASML 已经透露了来自英特尔、三星、SK 海力士和台积电等公司的“10 到 20”份高数值孔径 EUV 机器订单。