ICP-MS的概念出现在1970。在分析了所有分包括原子荧光光谱 (AFS) ，中子析技术。活化分析 (INAA原子吸收光谱 (AAS)和X射线荧光分析(XRF)等，得出结论:原子质谱可能是唯一能在周期表中覆盖元素范围宽。具有元素特性和灵敏度高的谱技术。
