电子探针显微镜EPMA的原理及应用

电子探针X射线显微分析仪(Electron probe X-raymicroanalyser，EPMA)的简称。电子探针电子探针利用0.5um-1um的高能电子束激发分析试样，通过电子束与试样相互作用产生的特征X射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(um范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。