光刻机如何保证精度？计算光刻软件究竟是什么？

光刻作为芯片制造的关键步骤，在5G、物联网等新型应用层出不穷的时代下，光刻机的硬件实力再度成为了行业的焦点，然而，计算光刻软件的力量，同样起到了举足轻重的作用。