网络讲座：半导体洁净室内痕量气态污染物AMC快速检测

对于半导体业者而言，洁净室内气态污染物AMC的管控重要性日益提高，这是因为跟晶圆良率和最终产品性能息息相关。随着芯片制造工艺的不断精进，也意味尺寸越来越小，二极管密度越来越大，芯片复杂程度越来越高，对全种类AMC进行实时的，高敏感度的监控被越来越多的半导体行业决策者提上工作清单。 本次网络讲座中我们将为您介绍AMC监控的革命性解决方案：Vocus CI-TOF。与业界传统方法相比，Vocus CI-TOF在仪器可靠性，秒级响应出数，AMC物种覆盖率以及投入产出比都有非常大的优势！