国产光刻机提速了！清华大学团队研制出“核心”子系统，造中国芯

由清华大学机械工程系教授朱煜带领团队创立的华卓精科，实现了国内首家光刻机双工件台的自主研发，而且作为了上海微电子长期的供应商。也就是说，华卓精科打破了长期以来的国外垄断，造出了“核心”零件，助力国产光刻机的崛起。北京国望光学可以提供物镜系统，北京科益虹源提供光源系统，国科精密提供曝光光学系统，浙江启尔机电提供浸没系统，华卓精科提供双工作台等等，上海微电子完成总体的光刻机设计和整机的集成。