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光刻机“芯”概念!国产冰刻技术另辟蹊径,专家:难以商用
原创
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2021-02-24发布
冰刻式光刻机是采用水蒸气遇冷凝结的物理特性对芯片进行生产制造。具体来说,冰刻式光刻机通过对水蒸气冷却降温,使其形成轻薄的一层霜,覆盖在晶圆的表面上,对其进行电子束雕刻、制造。
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