国产5nm刻蚀机获台积电认可，中国芯片制造设备如何突破？

国产5nm刻蚀机获台积电认可，中国芯片设备该如何突破欧美封锁？刻蚀机和光刻机，咋听起来有点像，本期视频，戴老师科普一下刻蚀机的原理、结构与功能，让大家更加了解芯片制造工艺。