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华为解除困境了?中科院的5nm光刻技术,并不是你想的那样
原创
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2020-07-19发布
中科院官网刊登了一篇文章,介绍了苏州纳米所在超高精度激光光刻技术研究中获得巨大进展,团队开发了一种新型三层堆叠薄膜结构,可以实现5纳米的特征线宽。
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