六氟化硫是一种无色、无臭、无毒、不燃的惰性气体,在20℃和0.1 MPa时密度为6.1kg/m3,约为空气密度的5倍。因此吸入后会影响声带振动频率,使音调变低。但常温下会有少部分SF6分解为有毒硫的低氟化物。另外大量吸入会导致窒息。