半导体芯片,是信息化时代的基石,也是当今尖端制造的制高点。全球芯片制造,已经进入10纳米到7纳米器件的量产时代。中国自主研发的第一台7纳米刻蚀机,是芯片制造和微观加工最核心的设备之一。它采用等离子体刻蚀技术——利用有化学活性的等离子体,在硅片上雕刻出微观电路。