中国为什么还造不出能量产的极紫外光刻机？拆成四面墙看

全世界只有一家公司能卖极紫外光刻机，去年一整年也只交付了 48 台。中国为什么还造不出一台能量产的？ 这期讲： ① 光源：每秒五万颗锡珠、每颗挨两枪，打成二十多万度的等离子体才发出极紫外光 ② 镜子和精度：十几面镜子后只剩百分之一到三的光，平台停下的误差约一个原子宽 ③ 系统集成和时间：阿斯麦和伙伴走了二十多年；荷兰 2019 年起没再放行对华出口 你觉得四面墙里，哪一面最难追？ #光刻机 #极紫外光刻 #EUV #阿斯麦 #ASML