【百年化学 中国篇】

#在合集看百态 #电子级磷酸 #电子工业 #芯片 #单晶硅 电子级磷酸与超高纯电子化学品（中国） 中国突破芯片用电子级磷酸（EL 级）技术，金属杂质低于 10 ppb，用于晶圆表面清洗与氮化硅蚀刻。同时实现高纯双氧水、氨水、硫酸的国产化，支撑 12 英寸晶圆生产线，降低半导体制造对外依赖。 原理：工业磷酸经多级精馏、亚沸蒸馏、膜过滤与离子交换联合提纯。电子级磷酸与晶圆表面的氮化硅（Si₃N₄）反应：3Si₃N₄ + 27H₂O + 4H₃PO₄ → 9H₂SiO₃ + 4NH₄₃PO₄，或热磷酸直接蚀刻 Si₃N₄。超高纯化学品避免金属离子污染导致芯片缺陷。