【百年化学 中国篇】

#在合集看百态 #光刻胶 #国产 #中国 #化学 高分辨率光刻胶国产化技术（中国） 2010 年后中国突破 5 纳米级光刻胶技术：以酚醛树脂为成膜树脂、重氮萘醌为感光剂，通过分子设计优化树脂结构，提升光刻胶的分辨率与抗蚀刻性，2022 年实现量产，打破日本、美国垄断，用于 14 纳米以下芯片制造，保障半导体产业链安全。 原理：感光剂（重氮萘醌）遇紫外线分解生成羧酸，使曝光区域树脂溶解度提升，经显影液冲洗去除；未曝光区域树脂保持刚性，作为掩膜保护基材，后续蚀刻形成精细电路。